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 与 传 统 的 清 洗 设 备 相 比 自 动 化 程 度 更 . . . M O R E + 晶 圆 电 镀 实 验 机 专 业 桌 面 晶 圆 电 镀 测 试 ， 2 / 4 寸 ， 晶 圆 专 用 阳 极 ， 精 密 溢 流 镀 槽 ， 超 精 密 电 镀 电 源 等 M O R E + 研 发 型 晶 圆 电 镀 设 备 设 备 名 称 ： 半 自 动 / 研 发 型 晶 圆 电 镀 设 备 设 备 系 列 ： S P 系 列 设 备 分 类 ： 生 产 型 （ P ） ， 研 发 型 （ R ） 工 艺 类 别 ： 晶 圆 电 镀 晶 圆 尺 寸 ： 4 1 2 i n c h 工 艺 类 型 ： A u ， C u ， N i . . . M O R E + 全 自 动 水 平 式 湿 法 刻 蚀 设 备 全 自 动 水 平 式 湿 法 刻 蚀 设 备 ， 利 用 E F E M 晶 圆 传 输 模 块 实 现 晶 圆 全 自 动 工 艺 运 行 . M O R E + T G V 电 镀 机 w a f e r 尺 寸 ： 6 寸 8 寸 1 2 寸 板 级 最 大 尺 寸 : 5 1 0 * 5 1 5 深 宽 比 ： 1 : 1 2 0 : 1 衬 底 材 料 ： 玻 璃 、 石 英 填 充 材 料 ： C u 玻 璃 厚 度 ： 1 0 0 u m 8 0 0 u m 最 小 通 孔 . . . M O R E + 自 动 晶 圆 化 学 镍 钯 金 设 备 * 设 备 型 号 ： S C S 0 4 H D 0 1 * 整 机 尺 寸 ： 约 9 3 0 0 m m ( L ) × 2 3 5 0 m m ( W ) × 2 7 0 0 m m ( H ) * 操 作 台 面 高 度 ： 9 5 0 ± 5 0 m m * 兼 容 1 2 i n c h 与 8 i n c h w a f e r * . . . M O R E + 选 择 我 们 的 优 势 研 发 自 主 核 心 技 术 ， 造 就 高 新 科 技 企 业 0 1 核 心 技 术 0 2 专 业 团 队 0 3 品 质 管 控 0 4 售 后 服 务 0 1 核 心 技 术 致 力 于 提 供 先 进 封 装 及 晶 圆 制 造 领 域 的 湿 法 制 造 环 节 工 艺 设 备 的 综 合 解 决 方 案 。 
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