浙江启尔机电技术有限公司成立于2013年，公司主要研发、生产和销售高端半导体装备超洁净流控系统及其关键零部件。启尔机电前身是浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队，启尔团队深耕于高端半导体装备细分领域的尖端技术，经过十六年坚持不懈的基础研究和技术攻关，已成长为该技术领域全球前三，国内唯一高科技公司，具有不可替代的行业地位。

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合肥芯碁微电子装备股份有限公司

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